一种硅基近红外光电探测器结构，包括：一n型硅衬底，其上面向下开有两层台阶状的圆槽；一磷背场制作在n型硅衬底的下面；一硫系元素掺杂层制作在该n型硅衬底上面的最下层的圆槽内；一p型硼掺杂层制作在该n型硅衬底上面的上层圆槽内；一迎光面掩蔽层制作在n型硅衬底上面圆槽的周围，并覆盖p型硼掺杂层的周边部分，中间形成圆孔，该圆孔的周边开有一环形凹槽，该环形凹槽的外径小于n型硅衬底上面上层圆槽的直径；一增透膜层制作在迎光面掩蔽层中间的圆孔内；一正面接触电极制作在迎光面掩蔽层上的环形凹槽内；一背面接触电极制作在磷背场的下面。本发明可以解决传统硅光电探测器对波长大于nm的近红外光响应弱的难题，其是实现硅基光电探测器的高灵敏度近红外光电探测。
本发明提供的硅基近红外光电探测器结构，在p型硼掺杂层4和n型硅衬底1的界面处形成pn结，该pn结结区经脉冲激光辐照激活的硫系元素掺杂层5增强了硅材料对近红外光的吸收，产生的光生电子-空穴对在内建电场和反向偏压下易于分离并被各自电极所收集，转化为光电流，解决了传统硅光电探测器在nm波长外光响应弱的难题，实现了硅基光电管的近红外光电探测
一系列SiR近红外荧光探针
SiR-alkyne硅基罗丹明-炔基
产品英文名称：SiR-alkyne；产品中文名称：硅基罗丹明-炔基；外观：实心；分子式：C30H31N3O3Si；分子量：.68
SiR-azide硅基罗丹明-叠氮
产品英文名称：SiR-azide；产品中文名称：硅基罗丹明-叠氮；外观：实心；分子式：C30H34N6O3Si；分子量：.73
SiR-BCN硅基罗丹明-环丙烷环辛炔
产品英文名称：SiR-BCN；产品中文名称：硅基罗丹明-环丙烷环辛炔；外观：实心；分子式：C44H54N4O7Si；分子量：.02
SiR-COOH；SI-TAMRA-6-COOH硅基罗丹明-羧基cas-03-0
产品英文名称：SiR-COOH；SI-TAMRA-6-COOH；产品中文名称：硅基罗丹明-羧基；CAS：-03-0；分子式：C27H28N2O4Si；分子量：.62
SiR-Maleimide硅基罗丹明-马来酰亚胺-56-2
产品英文名称：SiR-Maleimide;产品中文名称：硅基罗丹明-马来酰亚胺;CAS号：-56-2;外观：实心;分子式：C33H34N4O5Si;分子量：.74
SiR-NHSester硅基罗丹明-琥珀酰亚胺酯-14-7
产品英文名称：SiR-NHSester;产品中文名称：硅基罗丹明-琥珀酰亚胺酯;CAS：-14-7;外观：实心;分子式：C31H31N3O6Si;分子量：.69
SiR-tetrazine硅基罗丹明-四嗪水溶性罗丹明改性染料
产品英文名称：SiR-tetrazine;产品中文名称：硅基罗丹明-四嗪;外观：实心;分子式：C36H35N7O3Si;分子量：.81
SiR-Me-tetrazine硅罗丹明-四嗪荧光探针
产品英文名称：SiR-Me-tetrazine;产品中文名称：硅罗丹明-四嗪荧光探针;外观：实心;分子式：C37H37N7O3Si;分子量：.83
SiR-DBCO硅基罗丹明-二苯基环辛炔-41-9
产品英文名称：SiR-DBCO;产品中文名称：硅基罗丹明-二苯基环辛炔;CAS：-41-9;分子式：C45H42N4O4Si;分子量：.94
SiR-BG硅基罗丹明-苄基鸟嘌呤-29-2
产品英文名称：SiR-BG;产品中文名称：硅基罗丹明-苄基鸟嘌呤;CAS：-29-2;分子式：C40H41N8O4Si+;分子量：.9
SiR-BG硅基罗丹明-苄基鸟嘌呤-34-6
产品英文名称：SiR-BG;产品中文名称：硅基罗丹明-苄基鸟嘌呤;CAS：-34-6;外观：实心;分子式：C42H41N8O4Si+;分子量：.93
小编：axc.
