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超纯水制备除硼方法

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硼在超纯水中对晶圆厂的产品良品率的影响,那超纯水深度除硼的方式有哪些呢,在现今新型的微电子、太阳能等行业中,对超纯水的要求越来越高,对超纯水设备中PPb的硼和硅要求达到PPb级。但硼和硅属于弱电离元素,在水中不易电离,不能通过水纯化技术有效地除去,所以在生产超纯水过程中,当离子交换树脂接近耗尽时,硅和硼是最先进入纯水的一类离子。对于芯片行业而言硼含量小于20ppt,芯片合成的成功率也会大大提升。所以超纯水除硼意义比较重大。

技术交流

随着硼工业的发展及人们对水中硼污染问题的重视,水中硼的去除越来越引起人们的广泛

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