热解氮化硼及氮化硼涂层深圳宏元化工

热解氮化硼是PBN,各向异性和各向同性也被称为特殊的陶瓷材料,各向异性是目前广泛使用的。PBN是一种白色,无毒,无孔,高纯度的化合物,易于加工。它属于六方晶体体系,具有很强的各向异性。

PBN材料,在年代初期,国外研究已经进入生产阶段,开始有商品出售。现在已广泛应用于航空航天,电子,化工,冶金,医疗等领域。由于其稳定的物理和化学性质以及良好的真空性质,在半导体材料的制备中具有特殊的价值。例如,分子束外延坩埚,液相外延餐具和大坩埚拉制GaAs单晶均由PBN材料制成。用于分子束外延的坩埚充分利用了某些特性,例如高化学纯度,良好的导热性,高密度,高绝缘性能以及易于加工。与其他坩埚相比,这种坩埚具有自己的特点。与普通的热压氮化硼(BN)不同,它不需要经过传统的热压烧结工艺,也不需要添加任何烧结剂。因此,获得的产品具有以下重要特征:(1)表面光滑,无气孔,大多数半导体熔体不湿。(2)纯度高,达到99.%以上;(3)耐热冲击性好,在℃下放入水中未发现裂纹;(4)高电阻,良好的电绝缘性能;(5)℃以下具有良好的抗氧化性能;(6)在室温下不要与酸,碱,盐和有机试剂反应,在熔融的盐和碱液中略有腐蚀,但在高温下能抵抗各种酸的腐蚀;(7)高温,无升华点,℃以上直接分解成B和N;(8)不与大多数熔融金属,半导体及其化合物反应;(9)无毒无味;热解氮化硼PBN的具体应用:用于合成半导体单晶和III-V族化合物的坩埚和碱;原位合成用于GaAs,InP和GaP单晶的LEC系列坩埚。MBE系列坩埚,用于分子束外延;VGF系列坩埚;PBN/PG复合加热器涂层;石墨加热器的绝缘涂层;高温绝缘液喷嘴;MOCVD绝缘板;异型坩埚和异型石墨零件涂层;特殊冶金用坩埚;石墨加热器绝缘涂层。

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