半导体行业超纯水去硼材料吸硼树脂

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半导体行业超纯水去硼材料、吸硼树脂

随着半导体工业的不断发展,对清洁水的电导率、离子含量、TOC、do和颗粒物的要求越来越严格。由于超纯水在许多指标上对半导体的要求很高,因此半导体行业的超纯水与其他行业的用水要求不同。半导体行业对超纯水有极其严格的水质要求。目前,我国常用的超纯水标准有国家标准《电子级水》(GB/T.1-)和美标。

  在半导体生产过程中,硼是一种p型杂质。过量会使n型硅反转,从而影响电子和空穴的浓度。因此,在超纯水工业中应充分考虑硼的去除。硼离美标中e1.3中要求小于0.05。如果硼离子含量能够达到较低的指标,则必然会提高半导体的性能。

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一、产品介绍TulsimerCH-99硼选择吸附树脂TulsimerCH-99是一款去除水溶液中硼及其盐的选择性离子交换树脂。在一些化工工业以及农业用水中,微量的硼或者硼盐都可能是严重的问题。此种树脂可以在较大的PH范围内甚至有其他离子存在的溶液中有效的去除硼以及硼盐,并且具有更多的数量。

随着硼业的发展及们对中硼污染问题的重视,中硼的去除越来越引起们的泛

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